理化科学实验中心双束电镜开启试运行

发布者:周俊发布时间:2026-10-13浏览次数:10



理化科学实验中心(高新校区)新增国产高端表征加工设备:国仪量子DB550X聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM),设备已完成整机安装、性能调试与操作人员岗前培训,自2026年10月19日启动试运行。设备放置于高新校区2号学科楼A108室。



DB550X是国仪量子自主研发的高端双束电镜,集成高分辨SEM电子光学与高精度离子束FIB系统,同步具备纳米尺度成像表征与定点微纳加工等核心能力。通过配置四轴纳米机械手、多通道GIS气体注入系统、扫描透射电子探测器等,可一站式完成截面解剖、高分辨形貌观测、原位力学样品制备,以及球差TEM超薄样品减薄制备,满足材料、化学、半导体等领域复杂微纳实验需求,实现从表征到制样的一体化作业。


该设备作为理化中心电镜影像平台新成员,可有效填补平台在精细FIB制样、局部原位截面观测等能力缺口,和现有电镜设备形成协同配套,完善从宏观试样到原子尺度的完整表征链条,为校内前沿课题提供更强硬件支撑。


试运行阶段将持续考核仪器运行稳定性,迭代完善上机管理制度。面向校内材料、化学、物理、半导体、环境、地质等相关学科课题组开放预约,可承接定点微纳加工、TEM薄片制备、截面表征、三维断层重构等实验任务。已参加10.15~16日《高端双束电镜基础上机培训》学员享有优先预约权限,未参加培训的用户前期可委托机组老师进行测试;计划近期进行用户培训,面向全校开放,请留意官方公告。



预约方式:通过理化中心大型仪器共享平台线上提交预约申请,上机人员须严格遵守仪器操作规范与平台管理要求。

温馨提示:试运行期间设备处于持续优化阶段,实验过程中如遇仪器故障、操作疑问,可联系理化中心平台管理员或国仪量子现场工程师协同处理。


国产高端电镜的落地,是科研装备自主化进程中的重要实践。DB550X在中科大理化中心投入试用,为国内高校公共测试平台国产FIB-SEM应用积累宝贵实践经验。理化中心将联合国仪量子技术团队,全力保障仪器稳定运行,最大化释放机时效能,支撑高水平科研成果产出。


负责人:

付圣权,tel:0551-63606441,email:fusq@ustc.edu.cn

负责人:李 明,tel:0551-63606441,email:minglsem@ustc.edu.cn

负责人:周宏敏,tel:0551-63606441,email:itisme@ustc.edu.cn


中国科学技术大学理化科学实验中心

2026年10月