仪器中文名：台阶仪
仪器英文名：Stylus Profiler
仪器型号：ZepTools/JS10C
存放房间号：2号学科楼D117
负责人： 龚科，tel：0551-63602813，email：gongke@ustc.edu.cn
李成勖，tel：0551-63602813，email：lcx043@ustc.edu.cn
主要参数：
1. 样品台尺寸：≥150 mm
2．最大扫描长度：55mm
3．重复性测量偏差：≤0.5nm (1σ lum 标准块重复扫描 30 次）
4．探针加力范围：0.5- 50mg
5．最大测量高度：160um
6．样品台运动控制：可实现水平（X/Y)，旋转（RZ）手动控制；XY 行程：150mm*150mm；
7．扫描最大采集点数：200万点
8．采样速度：200Hz
9．扫描方向：左右双向
10．扫描速度：5um/s-1000um/s
仪器应用：台阶仪工作原理基于触针与被测表面的微接触，触针沿表面滑动时，能够捕捉并反馈表面微小峰谷引起的垂直运动，从而精确描绘出表面轮廓。主要用于半导体、材料科学、MEMS及微纳加工领域中微米/纳米级薄膜厚度、台阶高度、表面粗糙度、波纹度、划痕/磨损深度的定量测量。
制样要求：
样品长宽小于150 mm，厚度：≤50 mm，表面干净，无明显变形、严重弯曲或胶体物质。
亮点应用举例：
膜厚度测量
台阶测量
光刻胶测量
