中国科大理化科学实验中心国产超高分辨场发射电镜SEM5000X正式运行通知
中国科学技术大学理化科学实验中心已配置国仪量子自主研制的首台超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X，已完成验收，目前进入正式运行阶段，将于2025年9月5日正式开放校内外用户预约。有需要的用户可登中国科学技术大学理化中心网站（https://pic.ustc.edu.cn/main.htm）进行预约。
SEM5000X具有超高分辨率和高稳定性，可观察物体二次电子像、成分衬度像、电子通道衬度像，同时可进行X射线能谱分析、电子背散射衍射分析、原位微纳米力学性能测试，配备了空气敏感样品转移系统，可对空气敏感样品进行形貌、EDS及EBSD表征。
主要参数：
二次电子图像分辨率：0.6 nm @ 15 KV ，1.0 nm @ 1 KV
放大倍数：1x～2,500,000x
加速电压：20V～30 kV
能谱仪（牛津AZtecLive UltimMax100 X）：分辨率（MnKa）127 eV，分析元素范围：5B ～ 92U
电子背散射衍射仪（牛津Symmetry S3）: 高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024;在线解析最高标定速度5700点/秒, 取向精度0.01度
原位纳米压痕系统（牛津FT-NMT04）: 20mN力传感器,载荷分辨率: ≤50 nN （噪音值）；最大压痕深度25μm,位移分辨率: ≤0.05 nm（噪音值）；最大纳米压痕点阵测量面积：10mm x 10mm；最大疲劳测试频率：500Hz
应用案例：
形貌像：
空气敏感样品转移系统：纯Li气氛保护前后样品形貌
低活化铁素体/马氏体钢晶粒取向图：
单晶Si微柱压缩动画：
微柱压缩：探究骨骼微柱的失效模式
在轴向压缩下失效模式：剪切、扩散（即微柱顶部的局部开裂和层状剥离）和轴向劈裂（Nature materials, 2014, 13(7): 740-747.）。
悬臂梁弯曲：铬基合金弯曲韧性测试
精确控制开口尺寸，实时追踪裂纹发展情况（L. Zauner, et al. Acta Materialia, 2022）。
微观疲劳测试：探究钨基合金微观疲劳性能
快速测试，力位移精准控制（Gabel, S., et al. Journal of Materials Research 37, 2061–2072 (2022). ）
联系方式：
付圣权老师：邮箱：fusq@ustc.edu.cn电话：0551-63606441
李 明老师：邮箱：minglsem@ustc.edu.cn电话：0551-63606441
周宏敏老师：邮箱：itisme@ustc.edu.cn电话：0551-63606441
雷 芯老师：邮箱：leixin1@ustc.edu.cn电话：0551-63606441
供稿：扫描机组
编辑：高关胤、周俊
审核：赵智、王雨松