理化科学实验中心聚焦离子束（FIB）显微镜Helios G5将于2024年11月1日正式开放校内用户预约。有需要的用户可登https://pic.ustc.edu.cn/main.htm进行预约。
仪器概况：
主要参数：
（1）配备ELstar电子枪，高稳定肖特基场发射灯丝；
（2）电子束加速电压200V—30KV；束流强度0.8pA—100nA；
（3）离子源加速电压500V—30KV，束流强度0.1pA—65nA；
（4）五轴马达驱动全对中样品台，移动范围 X >110mm， Y >110mm， Z >65mm，倾斜角度为 -15°~+90°；
（5）可放置样品最大高度85mm，一体化集成等离子清洗仪；
（6）配置W和C气针，可进行金属W和C的沉积。
送样要求：
1、样品需完成SEM表征，在提交预约单时上传相应SEM照片。
2、部分微纳加工需提供加工图纸或工步。
送样咨询：
王老师 yanruw@ustc.edu.cn 63602805