“微区转靶X射线衍射仪”是学校双一流学科平台建设中的大型仪器采购项目，仪器目前已经安装调试完毕，现投入试运行。仪器位于科大中区理化科学实验中心一楼116房间。
主要规格&技术指标
1. 转靶最大电压、电流及功率： 45kV，200mA，最大功率9kW；
2. 测角仪2θ 转动范围：-5°~160°；半径：300 mm，可读最小步长：0.0001度，角度重现性：0.0001度；
3. 探测器：二维面探测器，子探测器个数（像素数）：36900个，像素尺寸100μm×100μm。且子探测器全部可用。检测器窗口活性面积369mm2。最大线性计数3.7×1010cps,背景：0.1 cps；
4. 微区分析系统：包含微区分析光路（点光源透镜CBO-f），全自动X-Y微区样品台(马达驱动，具备CCD可视光学定位系统，X轴调整范围：-50~ +50 mm (最小步宽: 0.0005mm)，Y轴调整范围： -50~ +50mm(最小步宽：0.0005mm)。
5. 微区分析光斑直径0.4mm左右，微区样品最大尺寸90mmx90mmx4mm，最大重量<250g；
6.K-fei 多功能样品台：具有CHI、PHI、Z 多轴程控运动能力；样品尺寸 最大可测量80mmφ（直径）×8mm t（厚度），χ轴范围：-5～95°（最小步宽：0.002°）， φ轴范围：±360°（最小步宽：0.005°）。
7.配置应用分析和专业数据处理软件。
主要功能及特色
微区X射线衍射法具有微区、微量、原位和无损等优点，能够进行传统全区X射线衍射法所不能处理的，直径在几十到几百微米范围内样品定域的物相、应力等高性能原位分析。与电子探针，电镜等现有微区手段相结合，能大大完善对于各种微区样品的原位综合表征能力。
本设备可以对于固体样品表面的不同微区进行选区X射线衍射分析（单个微区选区尺寸在0.4-1mm左右）， 无损分析确定其物相，进行晶体结构精修，测量各种材料和器件的空间X射线衍射分布特征并进行相应的结构分析等。
样品要求
本设备可对各类片状固体样品表面进行微区选区分析。一般样品尺寸尽量控制在90mmx90mmx4mm以内，最大重量<250g,待测面尽可能平整。如果样品尺寸过大或者表面起伏过大，需要提前裁切和打磨。样品必须是固体形态，测试过程中需稳定存在，不能存在自身在大气中分解，有液体或者气体逸出等情况。样品不能存在腐蚀性、剧毒等影响设备和人员安全的性质。
开放方式
仪器目前进入试运行阶段，有测试需求的老师和同学可联系姚震宇老师进行预约测试，或到理化科学实验中心116房间当面交流，联系电话0551-63602810，邮箱yaozy@ustc.edu.cn。目前可接受校内外用户预约送样。
样本检测注意事项
预约需要说明样品的具体形态、物性、测试要求，不接受任何带有腐蚀性、有毒害性等样品。
试运行期间收费标准
目前试运行期间，暂时不收取用户测试费用。
实例
实例1. 岩石类样品的选区微区分析（样品尺寸20 × 15 × 4 mm左右）
