中文名:电子探针显微分析仪
英文名:Electron Probe Microanalyzer
所属机组:紫外和探针(UV&EPMA)
仪器型号:岛津EPMA-8050G
房间:117
负责人:周俊,tel:0551-63606443/63607757,email:junzhou@ustc.edu.cn
负责人:
负责人:
负责人:

主要参数:

1)二次电子像分辨率:≤ 3 nm(加速电压30 kV)

2)背散射电子像分辨率:≤ 20 nm(拓扑像、成分像);

3)电子枪:肖特基场发射电子枪;

4)加速电压:0.530 kV

5)最大束流:≥3 μA

6)束流稳定度:≤ ±0.3%/h (50 nA@10 kV)

7)图像放大倍数:40倍~400,000倍;

8)电子像的畸变:<3% (400倍放大率);<5% (400倍放大率)

9)分析元素:5B92U

10)分析精度:优于1%(主元素:含量>5%)5%(次要元素:含量~1%)

11)波谱仪道数:5道(RAP/LSA200LSA55/LSA70PET/LiFLiF/ADPLSA80/LSA120),其中LSA55LSA70LSA80LSA12LSA200为人工晶体,对超轻元素BCNOF极其灵敏;

12)分光晶体:全聚焦型晶体;

13)能谱仪:牛津80 m2


仪器应用:

5B92U元素定性、定量、线扫、面扫分析(波普功能)以及SEM的所有功能。为了有助于理解电子探针,同学们可以将它认为是一台EDS功能更为强大(灵敏度以及分辨率都超过EDS一个数量级,并且能对BCNOF超轻元素进行准确定量分析)的扫描电镜(EPMA同时也具备SEM各类功能)。

 一般来说,元素含量在0.05%以上即可测准(具体视样品及元素情况而定)。定性分析、态分析(即单元素定性分析)检出限更低,能检测出100ppm甚至更低含量的元素是否存在。


测试流程:

 校内用户常规样品可以直接送样,非常规样品可联系测试老师询问(建议邮件,也可电话联系),等测试完成后由老师确定具体收费,并修改预约单。送样时务必在预约单上写清楚测试需求。

 校外用户填写预约单后不用等审批通过即可联系测试老师(建议邮件,也可电话联系),等测试完成后由老师确定具体收费,并修改及审核预约单,之后再网上缴费。


送样要求: 

 定性分析:对绝大部分样品无要求。


 定量分析:块装样品或者薄膜样品需有一面平整,越平整测试效果越好。粉末样品需压制成片状,厚度达到纸张厚度即可,面积达到米粒大小即可(建议直径大小5-10mm)。


 面分布(mapping):颗粒、块装样品或者薄膜样品需有一面平整,粉末样品面扫测试建议大家将样品分散后滴在硅片测试(硅片建议大小5-8mm)。


 一般来说,元素含量在0.05%以上即可测准(具体视样品及元素情况而定)。定性分析、态分析检出限更低,能检测出100ppm甚至更低含量的元素是否存在。

 导电性良好的样品请在预约单上注明,测试前可以直接测试,不做镀碳/镀铂处理。有疑问的同学请邮件咨询老师。(junzhou@ustc.edu.cn


应用举例-电子探针.doc