主要参数：

1）二次电子像分辨率：≤ 3 nm(加速电压30 kV)；

2）背散射电子像分辨率：≤ 20 nm（拓扑像、成分像）；

3）电子枪：肖特基场发射电子枪；

4）加速电压：0.5～30 kV；

5）最大束流：≥3 μA；

6）束流稳定度：≤ ±0.3%/h (50 nA@10 kV)；

7）图像放大倍数：40倍～400,000倍；

8）电子像的畸变：＜3% (＞400倍放大率)；＜5% (＜400倍放大率)；

9）分析元素：⁵B～⁹²U；

10）分析精度：优于1%(主元素：含量＞5%)和5%(次要元素：含量～1%)；

11）波谱仪道数：5道（RAP/LSA200、LSA55/LSA70、PET/LiF、LiF/ADP、LSA80/LSA120），其中LSA55、LSA70、LSA80、LSA12、LSA200为人工晶体，对超轻元素B、C、N、O、F极其灵敏；

12）分光晶体：全聚焦型晶体；

13）能谱仪：牛津80 m²。

仪器应用：

⁵B～⁹²U元素定性、定量、线扫、面扫分析（波普功能）以及SEM的所有功能。为了有助于理解电子探针，同学们可以将它认为是一台EDS功能更为强大（灵敏度以及分辨率都超过EDS一个数量级，并且能对B、C、N、O、F超轻元素进行准确定量分析）的扫描电镜（EPMA同时也具备SEM各类功能）。

 一般来说，元素含量在0.05%以上即可测准（具体视样品及元素情况而定）。定性分析、态分析（即单元素定性分析）检出限更低，能检测出100ppm甚至更低含量的元素是否存在。

测试流程：

 校内用户常规样品可以直接送样，非常规样品可联系测试老师询问（建议邮件，也可电话联系），等测试完成后由老师确定具体收费，并修改预约单。送样时务必在预约单上写清楚测试需求。

 校外用户填写预约单后不用等审批通过即可联系测试老师（建议邮件，也可电话联系），等测试完成后由老师确定具体收费，并修改及审核预约单，之后再网上缴费。

送样要求： 

 定性分析：对绝大部分样品无要求。

 定量分析：块装样品或者薄膜样品需有一面平整，越平整测试效果越好。粉末样品需压制成片状，厚度达到纸张厚度即可，面积达到米粒大小即可（建议直径大小5-10mm）。

 面分布（mapping）：颗粒、块装样品或者薄膜样品需有一面平整，粉末样品面扫测试建议大家将样品分散后滴在硅片测试（硅片建议大小5-8mm）。

 一般来说，元素含量在0.05%以上即可测准（具体视样品及元素情况而定）。定性分析、态分析检出限更低，能检测出100ppm甚至更低含量的元素是否存在。

 导电性良好的样品请在预约单上注明，测试前可以直接测试，不做镀碳/镀铂处理。有疑问的同学请邮件咨询老师。（junzhou@ustc.edu.cn）

应用举例-电子探针.doc