主要参数：

扫描管：闭环 X、Y: 90 μm，Z: 7.5 μm
        开环X、Y: 5 μm,  Z: 1.5 μm
电动Z轴载物台：Z轴行程：18 mm
光学系统：彩色CCD摄像头，带电动变焦

噪声水平：≤ 0.5 Å
控制器： 20位DAC控制器，100 kHz、±10v ADCs，数字反馈器件

应用举例：

DNA样品（接触模式）

Innva操作规程.pdf