主要参数：

工作电压200 KV，配有超高亮度肖特基场发射电子枪，TEM点分辨率0.25 nm，信息分辨率0.12 nm，STEM分辨率0.16 nm，能谱能量分辨率136 eV。

仪器应用：

广泛应用在物理、化学以及材料科学中，作为确定物质结构以及成分的一个重要方法，可金属、陶瓷、半导体、塑料等材料进行微区结构观测，配合能谱仪对样品元素进行分布分析。

制样要求：

1.     对于粉末和液体样品，可直接超声分散后滴加在载网上；

2.     块体和薄膜样品，需要事先包埋切片或FIB加工。

应用举例：

独特的四探头能谱仪设计，可在较短时间内实现样品的微区元素分析。