仪器简介：
电子探针（EPMA）是目前微区元素定量分析最准确的仪器，它能将微区化学成分和显微结构对应起来，可进行定性和定量分析、线分析、面分析等。而一般化学分析、X射线荧光分析及光谱分析等，是分析样品较大范围内的平均化学成分，也无法与显微结构对应。
元素定量定性方面，电子探针与EDS的区别在于电子探针采用的是波谱（WDS）分析，EDS采用的是能谱分析。为了有助于理解电子探针，同学们可以将它认为是一台EDS功能更为强大（灵敏度以及分辨率都超过EDS一个数量级）的扫描电镜（EPMA同时也具备SEM各类功能）。另外，电子探针也能对超轻元素进行准确定量分析（B、C、N、O、F），这是EDS无法做到的。
适用样品：
对任何一种在真空中稳定的固体，均可以用电子探针进行成分分析和形貌观察，例如金属、硅酸盐材料、医学试样、纤维、氧化膜、涂层、废气颗粒、文物等。尤其在材料科学、地学、矿物学及冶金学等应用最为广泛。
送样要求：
送样、制样与扫描电镜基本一致，块状材料最好表面平整。
联系方式：
理化中心117：周俊、张仕定，63607757
理化中心423：周俊，63606443
收费标准：（暂定）
波谱定性（WDS）：100/点（包含SEM照片一张）
波谱仪（WDS）定量点分析：200元/点（包含SEM照片一张）
元素态分析：50/元素*点（包含空白以及标样对照）
线分析：200/线（工作时间内，线分析每超出1小时加收100元，工作时间以外，线分析每超出1小时加收10元。总时长12小时以上的线分析视情况定价。）
面分析：400/面（工作时间内，面分析每超出1小时加收100元，工作时间以外，面分析每超出1小时加收10元。总时长12小时以上的面分析视情况定价。）
二次电子、背散射SEM照片：20/张（注：如不做定性、定量、态分析、线分析、面分析中任意一项的话不单独拍SEM照片）