理化科学实验中心购置的高分辨薄膜X射线衍射仪（Malvern Panalytical，X'pert3 MRD）已经安装并调试完成！该设备配备了Cu平行光反射镜，hybrid双晶平行光单色器，Ge(220)四晶单色器，x、y、z、phi、chi五轴欧拉换。
高分辨X射线衍射是半导体材料表征的标准装备，常用于材料科学和纳米技术、半导体材料和器件等的研究和生产质量控制。本仪器(X'pert3 MRD)适用于各种薄膜样品的测试应用，尤其适合外延薄膜和单晶晶圆的结构分析和表征，例如： 摇摆曲线分析（omega-2theta, rocking curve）、倒易空间图（reciprocal space mapping）、反射率(XRR)、薄膜物相分析(Phase analysis)，掠入射表面分析(GIXRD)、残余应力(Residual stress)和织构分析(texture)等。
该仪器自即日起开始运行。有测试需求的老师和同学请联系送样测试。
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