中心首台国产高分辨场发射扫描电子显微镜顺利通过验收

发布者：周俊发布时间：2024-11-28浏览次数：28

近日，我中心电镜影像平台购置的国仪量子超国仪量子自主研制的首台超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X在本中心调试完毕，各项指标符合要求，顺利通过专家组联合验收。该设备定于11月22日投入试运行，试运行期间校内用户免费。

验收结束后，国仪量子代表正式递交售后服务承诺书。

仪器位于中国科大中区理化科学实验中心一楼128房间，有需要的用户可登中国科学技术大学理化实验中心网站（https://pic.ustc.edu.cn/main.htm）进行预约。

国仪量子原位高分辨场发射扫描电子显微镜

SEM5000X为国仪量子技术股份有限公司自主研制的首台超高分辨场发射扫描电子显微镜，该设备具有稳定的电子光学系统，通过电子光学镜筒设计优化，综合像差大大降低，实现了超高分辨率。拥有镜筒内高压隧道模式，可在低压下直接对高低起伏的不导电样品进行高分辨成像。以其超高分辨率和高稳定性，可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势，可观察物体二次电子像、成分衬度像、电子通道衬度像，同时可进行X射线能谱分析、电子背散射衍射分析、原位微纳米力学性能测试。配备了空气敏感样品转移系统，可对空气敏感样品进行形貌、EDS及EBSD表征。

主要参数：

二次电子图像分辨率：0.6 nm @ 15 KV ，1.0 nm @ 1 KV

放大倍数：1x～2,500,000x

加速电压：20V～30 kV

能谱仪（牛津AZtecLive UltimMax100 X）：分辨率（MnKa）127 eV，分析元素范围：⁵B ～ ⁹²U

电子背散射衍射仪（牛津Symmetry S3）: 高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024;在线解析最高标定速度5700点/秒, 取向精度0.01度

原位纳米压痕系统（牛津FT-NMT04）: 20mN力传感器,载荷分辨率: ≤50 nN （噪音值）；最大压痕深度25μm,位移分辨率: ≤0.05 nm（噪音值）；最大纳米压痕点阵测量面积：10mm x 10mm；最大疲劳测试频率：500Hz