主要参数：

配备ELstar电子枪，高稳定肖特基场发射灯丝；

电子束加速工作电压范围 200V—30KV，电子束流强度0.8pA—100nA，束流连续可调；

Tomahawk离子源，加速电压500V—30KV，离子束流强度0.1pA—65nA；

五轴马达驱动全对中样品台，移动范围X >110mm， Y >110mm， Z >65mm，倾斜角度为 -15°— +90°

可放置样品最大高度85mm，一体化集成等离子清洗仪。

仪器应用：FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam)是将离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后作用于样品表面，利用电子信号取得样品图像，也可以用强电流离子束对表面原子进行剥离，以完成微、纳米级表面形貌加工，从纳米或微米尺度的试样中直接切取可供透射电镜或高分辨电镜研究的薄膜。