典型技术参数：

1. 配备有物镜球差和聚光镜球差校正器系统，全数字化电镜自动控制软件，可以通过简单的工作流程实现快速可重复操作；

2. 工作电压60KV和300kV；TEM信息分辨率优于60pm@300kV；100pm@60kV；STEM分辨率优于60pm@300kV; 96pm@60kV ；

3. 配备超稳定超高亮度肖特基场发射电子枪，并配有电子枪单色仪Monochromator及单色器自动调节系统，300kV工作电压下亮度大于 2.9 x 10⁹ A/cm2/sr，最小能量分辨率优于0.03eV @ 60kV；

4. 样品杆最大倾斜角度：± 35°(a) / ± 30° (b)；

5. 四个对称分布的电制冷无窗式SDD硅漂移检测器；检测器有效探测器面积120mm²；

6. 配有能量过滤系统，可实现能量过滤透射电镜成像和电子能量损失谱分析，能量分辨率优于0.03eV @ 60kV。

仪器应用：

对样品在纳米尺度的精细结构和化学成份进行表征，为物理学、化学、材料科学、生命科学等研究领域的科研项目服务。

制样要求：

1.     对于粉末和液体样品，可直接超声分散后滴加在载网上；

2.     块体和薄膜样品，需要事先包埋切片或FIB加工。

部分样品测试实例 ：

STEM分辨率GaN(211)

  能量分辨率300KV下优于50 meV

   样品中的“轻”“重”原子同时成像

    低剂量条件的分子筛结构