仪器功能简介：
该设备集成了蔡司GeminiSEM 450扫描电子显微镜与牛津WITec共聚焦拉曼光谱仪两个系统，两者分别具有亚纳米和光学衍射限制的百纳米分辨率。除了可提供独立扫描电镜和拉曼光谱仪的各项功能，并且能够将样品在扫描电镜和拉曼下精准移动，实现感兴趣微区的扫描电镜、能谱、拉曼的原位一体化表征。广泛应用于材料科学、半导体、电池、地质等研究领域。
仪器主要参数：
扫描电镜部分：
二次电子像分辨率：0.7 nm @15 kV，1.1nm @1kV
分析分辨率：2. 0 nm @ 15 kV（≥ 5 nA）
放大倍数：20 ～ 2000000x
加速电压：0.02 ～ 30 kV
能谱仪：分辨率（Mn Ka）127 eV，分析元素范围：Be4～Cf98
拉曼光谱仪部分：
光源：532 nm和633 nm
光栅：300、600、1800刻线
拉曼成像：扫描范围250μm*250μm*250μm
拉曼成像空间分辨率：XY方向优于500 nm （532 nm激光），Z方向优于1500 nm（532 nm激光）
制样要求：
固体干燥样品，拉曼测试样品需尽可能平整，其他与常规扫描电镜相同。
开放方式：
纯扫描电镜和能谱测试；扫描电镜-拉曼联用测试。
该仪器（放置于理化中心104房间）目前已经调试完毕，各项指标符合要求，现投入试运行（即日起至12月底，试运行期间免费），有测试需求的老师和同学请与机组联系（与赵智老师沟通具体制样和送样时间）。
负责人：赵智，Lab301/302，63602812，zhizhao@ustc.edu.cn（周一、三、五）
范明慧，Lab303，63602814，sunyfan@ustc.edu.cn（周二、周四）
对于纯扫描电镜和能谱测试，能独立操作扫描电镜机组GeminiSEM 450的同学可以申请自主上机，也欢迎感兴趣同学申请免费自主上机培训。