蔡司GeminiSEM 450场发射扫描电子显微镜运行通知

发布者:周俊发布时间:2020-10-27浏览次数:519



1固体物质表面形貌观察


观察样品时可不喷金或者少喷金,可广泛应用于生物、物理、化学、纳米材料、金属材料、高分子材料等方面的表面形貌观察、粒度测量、集成电路质量检验、断口分析、失效分析等。


2背散射电子像(BSE


背散射电子像可显示出试样微区原子序数或化学成分的差异,即试样的成分衬度。根据背散射电子像的亮暗程度,可判别出相应区域的原子序数的相对大小,由此可对陶瓷、金属或合金等材料的显微结构进行分析。


3X射线能谱(EDS)

  

配备牛津Aztec系列X射线能谱仪,分析元素范围592U,可对固体物质进行微区元素成分分析,适用于生物学、医学、化学、化工学、物理学、金属学等相关学科的有关物体的微区元素定性、半定量分析。

  

4. 背散射电子衍射(EBSD

  

BSD可测定晶体材料的晶体结构和取向,用于研究材料的微观组织结构和织构,已成为材料研究中一种有效的分析手段。目前EBSD技术的应用领域包括:工业生产的金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石——以研究各种现象,如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向关系有关的性能(成型性、磁性等)、界面性能(腐蚀、裂纹、热裂等)、相鉴定等。


仪器主要技术指标:


二次电子像分辨率:0.7nm @15kV, 1.1nm@1kV(非样品台减速模式下);分析分辨率:2.0 nm @ 15 kV(≥5nA);

能谱仪:分辨率(MnKa)127eV,分析元素范围:5B92U 

电子背散射衍射仪(EBSD):相机分辨率:1344*1024像素,角分辨率:0.05度,最大速度:100Hz


该仪器目前已经基本调试完毕,各项指标符合要求,现已投入运行,有测试需求的老师和同学请与扫描电镜机组联系测试,电话:0551-63606441。