1．固体物质表面形貌观察
观察样品时可不喷金或者少喷金，可广泛应用于生物、物理、化学、纳米材料、金属材料、高分子材料等方面的表面形貌观察、粒度测量、集成电路质量检验、断口分析、失效分析等。
2．背散射电子像（BSE）
背散射电子像可显示出试样微区原子序数或化学成分的差异，即试样的成分衬度。根据背散射电子像的亮暗程度，可判别出相应区域的原子序数的相对大小，由此可对陶瓷、金属或合金等材料的显微结构进行分析。
3．X射线能谱(EDS)
配备牛津Aztec系列X射线能谱仪，分析元素范围5B ～92U,可对固体物质进行微区元素成分分析，适用于生物学、医学、化学、化工学、物理学、金属学等相关学科的有关物体的微区元素定性、半定量分析。
4. 背散射电子衍射（EBSD）
BSD可测定晶体材料的晶体结构和取向，用于研究材料的微观组织结构和织构，已成为材料研究中一种有效的分析手段。目前EBSD技术的应用领域包括：工业生产的金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石——以研究各种现象，如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向关系有关的性能（成型性、磁性等）、界面性能（腐蚀、裂纹、热裂等）、相鉴定等。
仪器主要技术指标：
二次电子像分辨率：0.7nm @15kV, 1.1nm@1kV（非样品台减速模式下）；分析分辨率：2.0 nm @ 15 kV（≥5nA）；
能谱仪：分辨率（MnKa）127eV，分析元素范围：5B～92U
电子背散射衍射仪（EBSD）：相机分辨率：1344*1024像素，角分辨率：0.05度，最大速度：100Hz
该仪器目前已经基本调试完毕，各项指标符合要求，现已投入运行，有测试需求的老师和同学请与扫描电镜机组联系测试，电话：0551-63606441。