中文名:电子探针显微分析仪
英文名:Electron Probe Microanalyzer
所属机组:紫外和探针(UV&EPMA)
仪器型号:岛津EPMA-8050G
房间:117
负责人:周 俊,tel:0551-63606443/63607757,email:junzhou@ustc.edu.cn
负责人:
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主要参数:

1二次电子像分辨率:≤ 3 nm(加速电压30 kV)

2背散射电子像分辨率:≤ 20 nm(拓扑像、成分像);

3电子枪:肖特基场发射电子枪;

4加速电压:0.530 kV

5最大束流:≥3 μA

6束流稳定度:≤ ±0.3%/h (50 nA@10 kV)

7)图像放大倍数:40倍~400,000倍;

8)电子像的畸变:<3% (400倍放大率);<5% (400倍放大率)

9)分析元素:5B92U

10)分析精度:优于1%(主元素:含量>5%)5%(次要元素:含量~1%)

11)波谱仪道数:5道(RAP/LSA200LSA50/LSA70PET/LiFLiF/ADPLSA80/LSA120);

12)分光晶体:全聚焦型晶体;

13)能谱仪:牛津80 m2



仪器应用

5B92U元素定性、定量、线扫、面扫分析(波普功能)以及SEM的所有功能。为了有助于理解电子探针,同学们可以将它认为是一台EDS功能更为强大(灵敏度以及分辨率都超过EDS一个数量级,并且能对BCNOF超轻元素进行准确定量分析)的扫描电镜(EPMA同时也具备SEM各类功能)。


制样要求

送样要求大致与SEM类似,但稍有区别。定量样品尽量表面平整,粉末样品建议压片后送样(类似红外压片制样),粉末样品测mapping可根据自己需求选择铜片、硅片、云母片等作为基底,样品或基底面积建议小于5×5mm


应用举例-电子探针.doc