姓名:麻茂生 电话:0551-63602806
房间:203 邮箱:mams@ustc.edu.cn
职称/职务:副研究员,XPS机组负责人
主要职责:管理X射线光电子能谱仪(XPS)

研究方向:

1. Si表面高介电薄膜材料Pr氧化物的制备、界面反应机理和热稳定性研究;

2. 碱金属(KCsRb)在半导体(SiGeSiCGaSbInSb)表面的催化氧化作用机理研究;

3. Cl2O2在金属(Ni, Cu), 合金(FeNi, CoNi)和半导体(FeSi, InP, GaAs,GaSb)表面上的吸附和表面初始氧化过程和机理研究。

 

科研项目:

1. 电子能谱仪VG ESCALAB MKII数据系统升级研制;

2. 多源薄膜样品制备系统的研制。